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장비기본정보

기관명
(재)철원플라즈마산업기술원
장비명
광학코팅용 마그네트론 스퍼터링 시스템 (Magnetron Sputtering System for Optical Coating)
모델명
제작사(국가)
대한민국
제작년도
2007
용도
생산
분류
시험장비
취득일
2007.08.09
장비설명
*사용분야 : 스퍼터링에 의한 기능성 광학박막 증착, 렌즈·필터 등 각종 산화물 광학코팅*구성품 주요사양o Vacuum Pumping Unit- Turbo molecular pump & controller- Mechanical rotary vacuum pump with oil mistrap- Vacuum valve, Vacuum lineo Magnetron Sputter Source- Magnetron sputter gun - Rotatable shuttero Substrate Rotation & Cooling Unit- Substrate rotation unit with rotary drive- Z-motion unit for Loading/Unloading the sample- Sustrate holder - Substrate cooling unito Main System Controller & Vacuum Gauge Controller- Main system controller- Baratron gauge & indicator for the operation gauge- Vacuum gauge & controller - Gas supply unito Thickness Rate Controller- two channel sensor & monitor- PID rate control type - Remote control
장비구성

성능
*장비주요스펙-Dimension : 1,500mm×1,800mm×700mm-Main power : 220 VAC, 3 phase, 60Hz, 50A-Air pressure : 5 - 6 kg/cm3 -Water pressure : 3 - 4 kg/cm3-Sample size : piece to 8inch-Sample No. : 6inch wafer×8ea-Distance : 50mm~100mm-Ultimate pressure : < 1×10 Torr w
NTIS NO
E-Tube NO

장비이용안내

사용방법
기관의뢰
사용료유형
시간당
이용료
설치형태
고정
설치장소
(재)철원플라즈마기업지원연구동
장비상태
정상
담당자
신정철
연락처
0334529881
팩스
0334529883
사용방법
전화

주소: (24047) 강원도 춘천시 신북읍 신북로 61-10 강원테크노파크 기술혁신지원센터 TEL/033-248-5611
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